钌靶材是一种用于物理气相沉积（PVD）和磁控溅射等薄膜制备技术的材料。它由高纯度的钌金属制成，具有优异的化学稳定性、高熔点和良好的机械性能。
光学薄膜：钌靶材可用于制备具有高反射率或抗反射性能的光学薄膜，如太阳能电池、LED、液晶显示器等。
电子器件：钌靶材可用于制备电子器件中的金属薄膜，如集成电路、存储器、传感器等。
保护涂层：钌靶材可用于制备具有高硬度和耐磨性的保护涂层，如刀具、模具、汽车零部件等。
生物医学：钌靶材可用于制备生物医学器械中的薄膜，如人工关节、心脏支架、药物释放系统等。
钌靶材的回收率取决于多个因素，包括使用的制备技术、工艺参数和材料损耗等。通常情况下，钌靶材的回收率在80%至90%之间。回收率较高的原因是钌是一种贵金属，具有较高的经济价值，因此在制备过程中会尽量减少材料的浪费和损耗。回收率的提高也有助于减少对有限资源的消耗和环境污染。
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